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2026-04-20 -
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半導體超純水設備出水水量： 純化水≥5.0m3/h 2、純化水原水用量： 8.33T/H3、純化水系統出水率： ≥78%4、系統出水水質：純化水電導率（25?℃）≤1.5μs／cm 符合2010中國藥典純化水標準。
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